Ekipmanlar

 Sınıf 100
Marka / Model: Carl Zeiss Axio Imager.A2m

İşlev ve Özellikleri

• Metallik yapılar, kompozit, cam, seramik, polimerler, sıvı kristalleri, yarı iletken tabanlı MEMS, wafer ve fotovoltaik numuneler incelenebilir.
• Polarize çalışma olanağı.
• Manuel ve kodlu mikroskop gövdesi.
• Trinoküler başlık ile farklı kamera bağlama seçenekleri.
• 12V 100Watt gücünde halojen aydınlatma veya LED aydınlatma.

 Sınıf 100

Marka / Model: SÜSS MicroTec MA6/BA6

İşlev ve Özellikleri

• Beş farklı litografi modu ile maske hizalama çalışmaları yapılabilmektedir.
• Yumuşak temas
• Sert temas
• Vakumlu temas
• Düşük vakumlu temas
• Temassız çalışma (proximity)

 Sınıf 100
Marka / Model: Heidelberg Instruments DWL 66FS

İşlev ve Özellikleri

• 2 mm yazma başlığıyla yaklaşık 0,6 µm; 4 mm yazma başlığıyla 1,0 µm yazma hassasiyetinde maske üretimi yapılabilmektedir.
• Gri tonlamalı pozlama modu
• Vektör pozlama modu
• Genel hizalama
• Alan hizalama

 Sınıf 100
Marka / Model: Carl Zeiss SteREO Discovery.V20

İşlev ve Özellikleri

• 20:1 aralığında zoom ile plan-apokromatik düzeltilmiş mikroskop gövdesi
• 345x büyütmeye kadar (mercek 10x ile) yüksek büyütme
• 1000LP/mm (PlanApo S 2.3x objektif ile) maksimum çözünürlük
• En yüksek büyütmeye kadar 3D etki

 Sınıf 100, Sınıf 1000

Marka / Model: Dorutek

İşlev ve Özellikleri

• Isıtıcı plaka (hot plate), döndürerek kaplama (spin coating) cihazı ıslak işlem tezgâhları üzerinde entegre halde bulunmaktadır.
• Argon, azot gazları ve kuru hava tabancalardan kullanılabilmektedir.
• Deiyonize (DI) su, musluk ve tabancalardan kullanılabilmektedir.
• Her ıslak işlem tezgâhı üzerinde 6 adet priz bulunmaktadır, elektronik cihazlar ıslak işlem tezgâhları üzerine eklenip çıkarılabilmektedir.
• Kontrol panel ekranı sayesinde atık tankı doluluk boşluk durumu kontrol edilebilir, kontrollü çalışma ortamı sağlanabilmektedir.

 Sınıf 100, Sınıf 1000
Marka / Model: Laurell Technologies WS-650MZ-23NPPB

İşlev ve Özellikleri

• 10.000 dev/dak hıza kadar çalışabilir; 20 programda program başına 51 adım tanımlanabilir. Yeniden düzenlemeyle program başına en fazla 255 adım kullanılabilir.

 Sınıf 1000
Marka / Model: NanoMagnetics Instruments ezAFM

İşlev ve Özellikleri

• Vuruntu (tapping) tarama modu ile yüzey topografyası çıkarılabilmektedir.
• Birçok farklı yüzeyi yüksek çözünürlükle kesin sonuçlar alarak taramanız mümkündür.
• Hizalama gerektirmeyen tasarımı sayesinde standart prob kolları (cantilever) ile uyumludur.
• Ayrıca Ambient AFM cihazı sahip olduğu parlaklığı ayarlanabilir beyaz LED ile daha iyi optik görüntüleme yapmanıza da imkan vermektedir.
• Topografya Görüntüleme.
• Faz Görüntüleme.
• Yüzey Manyetik Kuvvet Görüntüleme.
• Yüzey Kuvvet Ölçümleri.

 Sınıf 1000
Marka / Model: VAKSİS MIDAS PVD-MT/2M_3T_1ICP

İşlev ve Özellikleri

• Saçtırma yöntemi ile:
• DC (iletken malzemeler)
• RF (yalıtkan malzemeler) kaplanabilmektedir.
• Termal Buharlaştırma ile:
• 3 farklı termal buharlaştırma kaynağına sahiptir.
• Nanometre mertebesinden birkaç mikrometre mertebesine kadar kaplama yapılabilmektedir.

 Sınıf 1000

Marka / Model: Renishaw inVia

İşlev ve Özellikleri

• UV’den NIR’a 7 farklı dalga boyuna sahip (325nm, 442nm, 488 nm, 457nm, 514nm, 532nm, 785nm) lazerlere sahiptir.
• Ölçüm teknikleri:
  • Derinlik profili
  • Haritalama
  • Tek nokta ölçümü
• Sıcaklık kontrollü hücre ile −196 °C ile +600 °C arasında ölçüm yapılabilir.

 Sınıf 1000

Marka / Model: Kurt J. Lesker AXXIS (nanoPVD)

İşlev ve Özellikleri

• Saçtırma
• DC
• RF
• E-ışını ile buharlaştırma
• Yüksek vakum pompalama hızı sayesinde kaplama işlemleri hızlı gerçekleştirilebilir. Üç saçtırma ve dört cepli e-ışını kaynağıyla tek vakum çevriminde verimli kaplama yapılabilir.

 Sınıf 1000
Marka / Model: FEI Nova NanoSEM 450

İşlev ve Özellikleri

• Geniş örnek aralığı ile her araştırmaya hitap edebilmektedir.
• Düşük voltajlarda çözünürlük kaybetmeksizin sonuç alınabilmektedir.
• Farklı dedektör tipleri ile geniş numune spektrumuna sahiptir.
• Düşük vakum modunda yalıtkan numune karakterizasyonu yüksek performansta yapılabilmektedir.
• Motorize tutucu sayesinde büyük numune analizleri rahatlıkla yapılabilmektedir.

 Sınıf 1000

Marka / Model: Carl Zeiss Axio CSM 700

İşlev ve Özellikleri

• Küçük alanların veya profillerin yüzey pürüzlülüğü analiz edilebilir.
• Şeffaf olarak kaplı birkaç katmanlı ince film kaplamalarda her bir katmanın kalınlığı ayrı ayrı ölçülebilir.
• Yanal çözünürlük 0,16 µm’dir; yaklaşık 20 nm’den başlayan basamak yükseklikleri, 10 nm ölçüm artımıyla belirlenebilir.

 Sınıf 1000
Marka / Model: Rigaku SmartLab 9 kW

İşlev ve Özellikleri

• Bragg–Brentano (odaklamalı) ve paralel demet geometrileri; CBO optiği ile geçiş.
• 9 kW döner anotlu Cu X-ışını kaynağı.
• Ters uzay haritalama (RSM)
• SAXS ile yaklaşık 1–100 nm arasındaki nanopartikül boyutları analiz edilebilir.
• İnce Film Kalınlık, Yoğunluk ve Pürüzlülük Analizi (X-ışını yansıtma, XRR)
• Faz ve Yapı Analizi (İnce film, polimer ve toz numuneler)
• Gerilme ölçümü (Basma-çekme değerleri hesaplanması) Ölçümü istenilen numunenin Young modülü (MPa) değeri bilinmelidir.
• Tekstür ölçümü