Class 100

İşlev ve Özellikleri

• Metallik yapılar, kompozit, cam, seramik, polimerler, sıvı kristalleri, yarı iletken tabanlı MEMs, wafer ve fotovoltaik numuneler incelenebilir.
• Polarize çalışma olanağı.
• Motorize gövde, Kodlu gövde, Manuel gövde.
• Mikroskobun bütün motorize fonksiyonlarının kontrol edildiği renkli TFT dokunmatik ekran.
• Trinoküler başlık ile farklı kamera bağlama seçenekleri.
• 12V 100Watt gücünde halojen aydınlatma veya LED aydınlatma.

 Class 100

İşlev ve Özellikleri

• 5 farklı lithografi modu ile maske hizalama çalışmaları yapılabilmektedir.
• Soft contact
• Hard contact
• Vacuum contact
• Low vacuum contact
• 12V 100Watt gücünde halojen aydınlatma veya LED aydınlatma.
• Proximity

 Class 100

İşlev ve Özellikleri

• 4mm ve 2mm yazma başlığı ile 0.75 mikron hashasiyetinde maske yazma çalışmaları gerçekleştirilebilmektedir.
• Gray Scale Exposure Mod
• Hard contact
• Gray Scale Exposure Mod
• Vektör Exposure Mod
• Global Alignment
• Field Alignment

 Class 100

İşlev ve Özellikleri

• 20:1 aralığında zoom ile planapochromatic düzeltilmiş mikroskop gövdesi
• 345x büyütmeye kadar (mercek 10x ile) yüksek büyütme
• 1000LP/mm (PlanApo S 2.3x objektif ile) maksimum çözünürlük
• En yüksek büyütmeye kadar 3D etki

 Class 100, Class 1000

İşlev ve Özellikleri

• Hot plate, spin coating cihazı wet benchler üzerinde entegre halde bulunmaktadır.
• Argon, azot gazları ve kuru hava tabancalardan kullanılabilmektedir.
• DI su, musluk ve tabancalardan kullanılabilmektedir.
• Her wetbench üzerinde 6 adet priz bulunmaktadır, elektronik cihazlar wetbenchler üzerine eklenip çıkarılabilmektedir.
• Kontrol panel ekranı sayesinde atık tankı doluluk boşluk durumu kontrol edilebilir, kontrollü çalışma ortamı sağlanabilmektedir.

 Class 100, Class 1000

İşlev ve Özellikleri

• 10000 rpm hızında 999 step oluşturularak resist kaplama işlemleri yapılabilmektedir.

 Class 1000

İşlev ve Özellikleri

• Tapping tarama modu ile yüzey topografyası çıkarılabilmektedir.
• Birçok farklı yüzeyi yüksek çözünürlükle kesin sonuçlar alarak taramanız mümkündür.
• Manuel lazer odaklama özelliği sayesinde hiçbir cantilever kısıtlaması olmadan istediğiniz uzunlukta cantilever kullanabilirsiniz.
• Ayrıca ambient AFM sahip olduğu parlaklığı ayarlanabilir beyaz LED ile daha iyi optik görüntüleme yapmanıza da imkan vermektedir.
• Topografya Görüntüleme.
• Faz Görüntüleme.
• Yüzey Manyetik Kuvvet Görüntüleme.
• Yüzey Elektrostatik Kuvvet Görüntüleme.
• Yüzey Kuvvet Ölçümleri.

 Class 1000

İşlev ve Özellikleri

• Saçtırma yöntemi ile:
• DC (iletken malzemeler)
• RF (yalıtkan malzemeler) kaplanabilmektedir.
• Termal Buharlaştırma ile:
• 3 farklı termal buharlaştırma kaynağına sahiptir.
• Nanometre mertebesinden birkaç mikrometre mertebesine kadar kaplama yapılabilmektedir.

 Class 1000

İşlev ve Özellikleri

• UV’den NIR’a 7 farklı dalga boyuna sahip (325nm, 442nm, 448 nm, 457nm, 514nm, 532nm, 785nm) lazerlere sahiptir.
• Ölçüm Teknikleri
• Depth Profile (derinlik profili)
• Mapping (Haritalama)
• Single point measurement (Tek nokta ölçümü)
• 196 °C’den +600 °C sıcaklık aralıklarında sıvı ve nem ortamında bulunan numunelerden ölçüm alınabilir.
• ITUnano Nanotechnology Research Center Cleanroom Laboratory

 Class 1000

İşlev ve Özellikleri

• Saçtırma
• DC
• RF
• E-beam buharlaştırma
• With high vacuum speed coating can be made fastly. With 3 sputtering and 4 e-beam source coating can be made efficiently with one vacuum.

 Class 1000

İşlev ve Özellikleri

• Geniş örnek aralığı ile her araştırmaya hitap edebilmektedir.
• Düşük voltajlarda çözünürlük kaybetmeksizin sonuç alınabilmektedir.
• Farklı dedektör tipleri ile geniş numune spektrumuna sahiptir.
• Düşük vakum modunda yalıtkan numune karakterizasyonu yüksek performansta yapılabilmektedir.
• Motorize tutucu sayesinde büyük numune analizleri rahatlıkla yapılabilmektedir.

 Class 1000

İşlev ve Özellikleri

• Küçük alanlar veya profillerin yüzey pürüzlülüğünü analiz edilebilir.
• Şeffaf olarak kaplı birkaç katmanlı ince film kaplamalarda her bir katmanın kalınlığı ayrı ayrı ölçülebilir.
• 0.1 um yanal yönde, 0.02 um yükseklik hashasyetinde topografik ölçüm gerçekleştirilebilir.

 Class 1000

İşlev ve Özellikleri

• Brag Brentano, paralel ışın ile tarama
• Reciprocal Space Mapping ( Haritalama)
• SAXS (Sıvı içerisinde bulunan nanopartikül büyüklüğü hesaplama 100 nm-200 nm arasında ki örnekler)
• İnce Film Kalınlık ,Yoğunluk ve Pürüzlülük Analizi (Reflectivity)
• Faz ve Yapı Analizi (İnce film , polimer ve toz numuneler)
• Stress Ölçümü (Basma-çekme değerleri hesaplanması) Ölçümü istenilen numunenin Young’s modulus (MPa) değeri bilinmelidir.
• Texture Ölçümü

 Standard Room

İşlev ve Özellikleri

• The main interest here is on materials properties – contributions due to electrode effects are typically tried to be avoided. The intrinsic electric material properties like, e.g., the complex permittivity ε*(ω) or conductivity σ*(ω) spectra are easily evaluated from Z*(ω) with the help of sample dimensions. The magnetic permeability spectra μ*(ω) can be determined if the sample electrodes are replaced by an inductive coil filled with sample material.
• Beyond frequency, electrical materials properties depend on additional parameters, the most important one being temperature. Time, DC bias (superimposed static electrical field), AC field strength and pressure dependence are frequently determined as well.

 Standard Room

İşlev ve Özellikleri

• Magnex tipi sıvı helyum ve sıvı azot soğutmalı 11.74 Tesla gücünde süper iletken mıknatısa sahiptir ve 2 RF kanallı, 1H, 19F, 13C, 31P çekirdekleri herhangi bir modifikasyona gerek kalmadan doğrudan gözlenebilir probe bulundurmaktadır. -80 °C ve +130 °C sıcaklık aralığında çalışma imkanı sağlar.
• Ölçüm listesi:
  1H (proton)spektrum, 1H (spin decoupling) spektrum, Deuterium exchange spektrum, 13C (decoupled)spektrum, 13C (coupled)spektrum, Quantitative 13C spektrum, COSY-2D spektrum, NOESY-2D spektrum, HETCOR-2D spektrum, APT spektrum, DEPT spektrum, VT(Dynamic)NMR, 1D TOCSY-2D spektrum, HMBC-2D spektrum, HSQC-2D spektrum, HMQC-2D spektrum, ROESY-2D spektrum, 1D NOE spektrum-2D spektrum, 31P spektrum, 19F spektrum, 11B spektrum, 29Si spektrum