İTÜ Nanoteknoloji Uygulama ve Araştırma Merkezi
İTÜnano – Nanoteknoloji Uygulama ve Araştırma Merkezi, “Fonksiyonel Nano-Malzemeler” odağında yürüttüğü disiplinlerarası araştırmalarla nanoteknoloji ve nanobilim alanlarında bölgesel bir ana araştırma gücü konumundadır. Merkez, mühendislikten temel bilimlere uzanan geniş bir yelpazede Ar-Ge faaliyetlerini desteklerken; hem akademi hem de sanayi iş birlikleriyle yenilikçi çözümler geliştirmektedir.
Temiz Oda Altyapısı
İTÜnano, uluslararası standartlarda Sınıf 100 ve Sınıf 1000 temiz odalara sahip ileri düzey bir mikro- ve nano-üretim altyapısı sunmaktadır.
Bu alanlar, partikül kontrolü, sıcaklık, nem ve basınç dengesi gibi parametrelerin hassas şekilde yönetildiği özel iklimlendirme sistemleriyle donatılmıştır.
🔹 Sınıf 100 (ISO 5) Alanları
-
Nanofabrikasyon ve fotolitografi süreçleri için ayrılmıştır.
-
Metre küp başına maksimum 100 partikül (<0,5 µm) seviyesinde hava temizliği sağlanır.
-
HEPA ve ULPA filtreli laminer akış sistemleri sayesinde tozsuz üretim koşulları garanti edilir.
-
Sıcaklık ±0.5 °C, bağıl nem %40–50 aralığında sabit tutulur.
-
Pozitif basınç farkı ile dış ortamdan partikül girişi önlenir.
🔹 Sınıf 1000 (ISO 6) Alanları
-
İnce film kaplama, plazma aşındırma, spin-coating, maske hizalama ve genel hazırlık işlemleri için kullanılır.
-
Metre küp başına maksimum 1000 partikül (<0,5 µm) limitine sahiptir.
-
Kimyasal işlemler için asitle çalışmaya uygun wet-bench sistemleri, lokal egzozlar, antistatik zemin kaplamaları ve gaz/kimyasal güvenlik sistemleri mevcuttur.
Araştırma Odakları ve İş Birlikleri
İTÜnano, nanoteknoloji ve nanobilime dayalı araştırmalarıyla;
-
Yarı iletken cihazlar ve sensörler,
-
Optoelektronik ve fotonik yapılar,
-
İnce film malzemeler ve yüzey mühendisliği,
-
Enerji depolama ve dönüşüm sistemleri
gibi alanlarda öncü projeler yürütmektedir.
Merkez, hem ulusal hem uluslararası düzeyde nitelikli Ar-Ge iş birliklerine açık olup, sanayi, kamu ve akademi ortaklıklarıyla yeni nesil teknolojilerin geliştirilmesini hedeflemektedir.